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[ PRESS RELEASE ]
2002-0273
平成14年11月26日
株式会社富士通研究所
富士通コンポーネント株式会社

世界初! 表面弾性波を用いた光透過率98%のタッチパネルを開発

タッチパネルの写真

株式会社富士通研究所と富士通コンポーネント株式会社は、表面弾性波(SAW: Surface Acoustic Wave *1)を発生する圧電薄膜トランスデューサ(*2)を用い、PDAなどの携帯情報通信端末に最適なタッチパネルを世界で初めて開発いたしました。

開発したタッチパネルは、厚さ0.7ミリメートル(mm)で、圧電薄膜トランスデューサを収容する額縁部の幅が1.4mmのガラス板1枚を用い、光の透過率は98%と視認性にすぐれ、傷に対して強く、小型化が可能です。

なお、本技術の詳細は、電子通信学会超音波研究会(11月29日、静岡大学)にて発表する予定です。

【開発の背景】

PDAなどの携帯情報通信端末がカラー化、高性能化し、より自然に近い色での表示が望まれるようになっています。したがって、タッチパネルを用いる装置では、表示品質に影響を与えないように、光の透過率はできるだけ高くし、光の反射率はできる限り低くする必要があります。

タッチパネルに一般的に用いられている抵抗膜方式は、複数の層から形成されており、各層を通過する間に光が散乱してしまうため、透過率は通常82%程度になってしまいます。また、各層の表面にコーティング処理を行っても、透過率は86%程度までしか改善できませんでした。

そこで、透明基板1枚でタッチパネルが実現可能な表面弾性波方式に着目しました。しかし表面弾性波方式は、弾性波を発生するための圧電トランスデューサの出っ張りや、基板全面を走査するための広い額縁部を必要とし、モバイル装置用の小型なものを作るのは困難でした。

【開発した技術】

今回開発したのは、パネル額縁部の幅が狭くても高精細にタッチした位置を検出できる電極構成法と、位置検出回路、電気信号を表面弾性波に変換する圧電薄膜トランスデューサを形成するプロセス技術です。

開発したタッチパネルは、ガラス1枚で構成されているため、透過率98%(従来比16%向上)で、1.4mm幅の額縁部(従来比約1/2)、0.7mm厚という小型化を実現しました。

開発した技術の特長は以下のとおりです。

  1. 高精細の位置検出と狭額縁を可能にする世界初のトランスデューサ構成
    圧電薄膜を電極と単極性の櫛型電極で挟み込むSPT(Single Phase Transducer *3)電極構造を用いて、「く」の字型の櫛型電極を連続して配置するシェブロン形電極構成を考案し、額縁1.4mmと高精細な位置検出性能を実現しました。
  1. 高分解能を実現する制御回路
    SPT電極とシェブロン形電極構成の圧電薄膜トランスデューサに特化した制御回路を開発し、文字入力可能な位置分解能100dpi(dot per inch)と毎秒100回のサンプリング性能を実現しました。
  1. 圧電薄膜の成膜プロセス
    上記のSPT電極とシェブロン電極構成の圧電薄膜トランスデューサに適した約2ミクロンメートルの薄膜で、電気振動を効率よく機械振動に変換する圧電薄膜を大面積に成膜するプロセスを開発しました。
解説図

【用語解説】

*1 SAW(Surface Acoustic Wave)
弾性体の表面に発生する波のことであり、産業的には、携帯電話の高周波フィルタなどに応用されています。
*2 圧電薄膜トランスデューサ
圧電とは、特定の物体に応力を与えると電気分極が起こり、逆に電界を与えるとひずみまたは応力を生ずる現象のことです。圧電薄膜トランスデューサは、この現象を利用して、電気信号をSAWに変換したり、SAWを電気信号に変換したりする機能を持つ素子のことです。
*3 SPT(Single Phase Transducer)
圧電膜を短絡電極と櫛型電極ではさんだ構造のトランスデューサであり、同一面内に1つの電気的配線のみ必要となります。

以 上

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